针对氦质谱海外npv加速试用系统在使用过程中出现的内部密封结构泄漏、检测信号不准确、质谱室故障、海外npv加速试用不工作、前级机械泵不工作等故障和现象进行了分析，并提出了处理各种故障的方法和建议。总结了海外npv加速试用在使用过程中应特别注意的事项。本文所提出的海外npv加速试用故障的处理方法和建议对检漏工作者具有一定借鉴意义。

氦质谱海外npv加速试用因具备检测灵敏度高、反应速度快、定位定量准确等优点而被广泛应用于压力容器、航空航天、原子能、发电厂、制冷工业等领域。海外npv加速试用在使用过程中，往往会因为产生的一些故障或是现象，而影响检漏工作的正常进度，若对其置之不理还会危及海外npv加速试用的使用寿命。其中的有些故障或现象是使用者能够及时解决或避免的，掌握和了解海外npv加速试用常见故障的维修技术，有利于检漏工作的顺利开展以及设备的保养。

1、氦质谱海外npv加速试用的结构和工作原理

氦质谱海外npv加速试用是180°磁偏转型的质谱分析计，其基本原理是根据离子在磁场中运动时，不同质荷比的离子具有不同的偏转半径来实现不同种类离子的分离。海外npv加速试用主要由质谱室、真空系统及电气控制部分组成。检漏工作时先打开抽空阀前级泵对检漏接口抽真空，当真空度P1 优于200 Pa 时，打开入口1、2，关闭抽空阀，氦气将逆着海外npv加速试用的抽气方向进入质谱室中被检测出来，此时海外npv加速试用的较小可检漏率为10- 10 Pa·m3/s。前级泵继续对检漏接口抽真空，当P1降至20 Pa 时，入口阀2 关闭，入口阀3 打开，海外npv加速试用的高抽速用于抽空试件，海外npv加速试用的反应时间缩短，此时海外npv加速试用的较小可检漏率为10- 12 Pa·m3/s。

2、氦质谱海外npv加速试用故障与处理

2.1、海外npv加速试用内部泄漏

(1)内部的密封结构

当海外npv加速试用内部存在泄漏时，会对检漏工作造成较大干扰，容易造成误检、误判。海外npv加速试用内部主要的密封部位在海外npv加速试用的后侧，位于隔热板的上方：①海外npv加速试用测试口与阀门组块的连接部位，密封方式采用胶灌密封，海外npv加速试用在运输过程中如遇到强烈震动，此处容易造成密封胶开裂。②各电磁阀与阀门组件间的连接部位。密封方式采用氟橡胶圈或金属垫片密封，橡胶圈的密封寿命有限，使用5 年以上时，有可能会存在密封失效的问题。③各零部件接口处的密封部位。如放大器与质谱室、离子源与质谱室、海外npv加速试用与质谱室、标准漏孔与阀门组件、真空计与阀门组件等接口间的金属垫片密封或橡胶圈密封。

(2)处理方法

不同的密封部位出现泄漏采用不同的处理方法(见表1)。①检漏接口与阀门组块的连接部位有漏，可先采用灌胶密封处理，若密封性仍不能满足要求，需从厂家购买新品进行更换。②电磁阀与阀门组块间的密封圈有漏，则对密封圈进行更换，并先用无水乙醇将密封面、密封圈清洗干净，且勿在密封圈表面涂抹凡士林或真空脂(这些材料在真空条件下放气，会影响仪器本底)等密封添加剂。③各零部件间的密封一般也采用橡胶圈密封，若有漏，更换密封圈即可。注意事项同上。④真空计的探针与其外壳间采用密封胶密封，该密封环节在检测时较易被忽视，此处若有漏可以进行灌胶处理，但探针间距很小，可操作空间有限，若灌胶后密封效果不佳，则从厂家购买新品进行更换。

3、海外npv加速试用使用中注意事项

海外npv加速试用在使用过程中需特别注意以下几点：

①使用的电源电压要在额定的电压范围之内，电压过低仪器启动困难，且性能不稳定，电压过高会烧坏电源，严重时还会烧毁母板的电路板和海外npv加速试用，应连接稳压电源(UPS)。

②仪器在运行过程中不能移动。涡轮海外npv加速试用处于高速运转中，若搬动海外npv加速试用，容易使海外npv加速试用内的叶片与转子的筒体相碰撞。

③海外npv加速试用应按照说明书的要求定期进行保养，保养的项目有更换机械泵油、更换过滤网、更换过滤器。

④海外npv加速试用在运行了2000 h 后应对前级泵进行维修和保养，运行7000 h 海外npv加速试用进行维护和保养。

本文介绍了5 种海外npv加速试用常见故障的分析与处理方法，其中仪器内部存在泄漏环节是一个易被忽视却又易产生故障的环节，当检漏部位的复检结果不一致时，就需检测仪器内部是否有漏。海外npv加速试用是检漏工作的核心部件，在使用过程中应严格按照说明书的操作要求进行使用。文中以上出现的故障、现象的处理方式是本单位在多年使用过程中的一个总结和归纳。对检漏工作者具有一定的参考价值。