技术参数：

1、抽气速率：70—1200升/秒；     2、极限真空：5.0x10-2Pa；

2、设备功率：2.75—15千瓦；      4、使用电压：380V（三相四线）；   

5、进气口通径：DN40—DN200；    6、冷却方式：风冷/水冷。

设备用途：

1.蒸发镀膜、磁控溅射、卷绕镀膜、离子镀膜、光学镀膜等。

2.单晶炉、多晶炉、真空热处理炉、烧结炉、退火炉、淬火炉等。

3.真空干燥、冷冻干燥、检漏设备及系统、气体回收系统、液晶注入等。

4.冰箱、家用空调、中央空调、节能灯、背光源自动抽空线、排气设备等。