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螺杆npv加速器苹果

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半导体行业海外npv加速试用

更新时间:2021-11-06 点击数:962


· 高效转子型线设计,具有极限真空度高;

· 无润滑油,实现高洁净真空;

· 螺距转子有良好几何对称性,实现低噪音、高寿命;

· 可抽除可凝性蒸汽、含有灰尘、有毒等多种气体,不会滞留在泵腔内,适用于恶劣的应用场合;

· 特殊轴承设计,振动极低,并且拥有超强的启动可靠性,尤其适合苛刻的工艺制程;

· 独特密封方式,具有很强地密封性能及超长的使用寿命性;

· 特殊电机,提高运行可靠性,延长使用寿命并降低维护成本;

· 智能控制系统设计,使用智能编程可实现面板按钮一键启停 , 实现远程控制和监控功能;

· 结构设计紧凑,零部件少、易维护。




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